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三温区cvd实验室设备\多温区cvd系统设备

厂家:未知 发布日期::2020-11-03 14:29 浏览次数:

SGM 1700度三温区CVD实验室设备是由洛阳西格马高温电炉生产的小型实验室高温设备。

产品结构:

1700度三温区CVD实验室设备由单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成

CVD设备是借助于光放电等方法产生等离子体,光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。

软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

产品用途:

1700度三温区cvd实验室设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

产品参数:

产品型号:SGM1700度三温区CVD实验室设备

气路控制:浮子流量计/质量流量计

真空系统:旋片泵/扩散泵/分子泵

可选配件:水冷机/数显真空计

额定温度:1700℃(可定制)

工作温度:≤1600℃(可定制)

加热元件:优质硅钼棒

温控方式:智能化30段PID微电脑可编程控制

温控保护:具有超温及断偶报警功能

热电偶:B型

炉膛材质:高纯氧化铝多晶纤维

加热速率:0-20℃/分

恒温精度:±1℃

均匀性:±5℃

极限真空:6.0×10-5Pa

工作真空:7.6×10-4Pa

炉壳结构:双层壳体带风冷系统

额定功率:6Kw

供电电源:110-480V 50/60Hz

售后服务:12个月质保,终身保修(易损件除外)

 


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